欧州化学物質庁、半導体産業の曝露シナリオ例を公表

発表日:2010.09.06

欧州化学物質庁(ECHA)と欧州半導体産業協会は、曝露シナリオ3例を共同で作成した。暴露シナリオは、化学物質の用途ごとの使用・管理条件等をまとめたもので、化学物質安全性評価報告書の一部となる。今回のシナリオ例の作成を通じて、化学物質の製造者と、川下ユーザーとの間の情報交換が、安全な使用条件についての共通理解を促し、結果として優れた曝露シナリオ作成につながることが実証された。今回の例は、温度・湿度・浮遊粒子状物質汚染を厳格に管理する「クリーンルーム」での半導体素子(マイクロチップ)製造に関して作成された。この曝露シナリオでは、3種類の化学物質とその用途を例にとり、クリーンルーム内での安全な使用条件を示している。関連する曝露量の推定は、標準の第1階層(Tier 1)モデルで実施され、いずれの例でも有害物質のリスクは適切に管理できることが示された。なお、今回の作業には、国際セマテック製造イニシアチブ(ISMI)、半導体製造事業者国際コンソーシアム、及び半導体化学品の供給業者も協力した。

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