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 昭和電工（株）、高効率・大型乾式の温暖化ガス分解装置を製品化

  昭和電工（株）は、高効率・大型乾式の温暖化ガス分解装置の開発を完了し、2012年中に販売を開始すると発表した。液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用されるPFC（パーフルオロカーボン）は、地球温暖化係数の高い温室効果ガスであり、使用後排出の際に分解処理する必要がある。分解方法には、1）排水処理が不要でCO2排出量も少ないが、ランニングコストがかかる「化学反応方式」と、2）ランニングコストが安く大量の排ガス処理が可能だが、排水等の後処理が必要な「触媒方式」、がある。今回開発した製品は、水処理工程が不要な乾式のハイブリッドシステムにより、処理能力の増加とランニングコストの削減を実現するPFC分解装置。触媒方式におけるフッ素分除去工程を、安価なカルシウム系の反応剤を用いて乾式化することに成功した。また、除害後に発生するCaF2（フッ化カルシウム）は、合成蛍石として再利用することも可能という。

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