国立研究開発法人産業技術総合研究所は、ディスプレーやセンシングデバイスの素子材料である薄膜トランジスタ(TFT)の評価技術の改良に成功したと発表した。TFTは、さまざまな電子デバイスの液晶表示素子として用いられており、スイッチング制御を担う基本的な材料と言われている。一方、近年ではIoTの進展などに伴い、ディスプレー等の大面積・軽量・フレキシブル化や、製造工程の簡略化・省エネルギー化が求められている。今回、TFTの駆動状態を可視化して評価できる「ゲート変調イメージング技術」に基づいて検証した「非破壊インライン検査の可能性(2018年1月発表)」を発展させ、多結晶性半導体薄膜を用いたTFT素子内の不均一な電荷分布をサブマイクロメートルの空間解像度で可視化を実現した。TFTの特性改善や高品質化に大きく貢献する成果であり、今後は太陽電池や二次電池などへの技術展開を図りたいという。
情報源 |
【オンライン情報源1】 産業技術総合研究所 研究成果 |
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配布形式1 |
【交換形式名称】HTML 【版】不明 |
タイトル | 産総研、ディスプレー素子材料の評価技術の改良に関する成果を発表 |
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日付1 |
刊行日: 2018/06/22 |
要約 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所は、ディスプレーやセンシングデバイスの素子材料である薄膜トランジスタ(TFT)の評価技術の改良に成功したと発表した。TFTは、さまざまな電子デバイスの液晶表示素子として用いられており、スイッチング制御を担う基本的な材料と言われている。一方、近年ではIoTの進展などに伴い、ディスプレー等の大面積・軽量・フレキシブル化や、製造工程の簡略化・省エネルギー化が求められている。今回、TFTの駆動状態を可視化して評価できる「ゲート変調イメージング技術」に基づいて検証した「非破壊インライン検査の可能性(2018年1月発表)」を発展させ、多結晶性半導体薄膜を用いたTFT素子内の不均一な電荷分布をサブマイクロメートルの空間解像度で可視化を実現した。TFTの特性改善や高品質化に大きく貢献する成果であり、今後は太陽電池や二次電池などへの技術展開を図りたいという。 |
目的 | ニュースリリース等の配信 |
状態 | 完成 |
問合せ先(識別情報)1 |
【組織名】産業技術総合研究所 【役職名】 【個人名】 【電話番号】 【FAX番号】 【住所】 【E-mail】 【オンライン情報源】産業技術総合研究所 【案内時間】 【問合せのための手引き】 【役割】情報資源提供者 |
問合せ先(識別情報)2 |
【組織名】筑波大学 【役職名】 【個人名】 【電話番号】 【FAX番号】 【住所】 【E-mail】 【オンライン情報源】筑波大学 【案内時間】 【問合せのための手引き】 【役割】情報資源提供者 |
分野 |
地球環境 環境総合 |
種別 | ニュース・イベント:ニュース:国内ニュース |
場所 | アジア:日本 |
キーワード | 産業技術総合研究所、JST、可視化、多結晶性半導体、空間解像度、TFT、日本学術振興会、電気伝導 |
言語1 | 日本語 |
文字集合1 | utf8 |
主題分類 | 環境 |
ファイル識別子 | 99570 |
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言語 | 日本語 |
文字集合 | |
親識別子 | |
階層レベル | 非地理データ集合 |
階層レベル名 | 国内ニュース |
日付 | 2018/06/27 |
メタデータ標準の名称 | JMP |
メタデータ標準の版 | 2.0 |
国内ニュース | https://tenbou.nies.go.jp/news/jnews/detail.php?i=24400 |
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