NEDOなど、希少金属セリウム使用量を半減する「研磨パッド」を開発
発表日:2013.06.17
(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)と立命館大学、(株)クリスタル光学は、ガラス基板用研磨材に用いられる希少金属セリウムの使用量を半減できる研磨パッドを開発したと発表した。希少金属(レアメタル・レアアース等)は、日本の産業界にとって必要不可欠な材料であるが、その偏在性ゆえに中長期的な安定供給確保に対する懸念がある。NEDOでは、この対策の一環として、希少金属の使用量低減技術および代替材料開発に取り組んでいる。今回開発した研磨パッドは、フラットパネルディスプレイやハードディスクドライブ等のガラス基板用最終研磨に用いられるもので、ベースであるウレタン樹脂に新たにエポキシ樹脂を添加することで、研磨能率を従来の約2倍に高めることに成功した。この技術により、従来の半分の時間での研磨が可能となり、研磨材に用いられる希少金属セリウムの使用量を半減することができる。今後、同パッドの1年以内の上市を目指して製造技術の検討を行っていくという。
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