次世代パワートランジスタの特性を安定化・高性能化 環境省事業成果
発表日:2022.06.06
環境省は、「GaN技術による脱炭素社会・ライフスタイル先導イノベーション事業」において大阪大学などが取組んだ事業成果を紹介した。同省は、高品質窒化ガリウム(GaN)を活用し、社会のあらゆる場面でエネルギー損失を徹底的に減らし、CO2排出削減を達成することを目的に令和3年度まで同事業を実施してきた。今回、大阪大学は、パナソニックホールディングス(株)、豊田合成(株)および住友化学の子会社である(株)サイオクス(所在地:茨城県日立市)と共同で、ナトリウムとガリウムを混合した液体金属の中でGaNの結晶を成長させる手法(ナトリウムフラックス法)を活用し、GaNパワートランジスタの特性を高い歩留で高性能化させる技術の開発に成功した。この成果は、デバイス特性の安定化に寄与し、さらにこのGaN基板を用いると、縦型トランジスタのオフ時のリーク電流を低減でき、歩留が向上する。この成果は産業・家電機器、モビリティ、再生可能エネルギー機器など、社会のあらゆる場面での活用による電力ロスの低減、これによる大幅なCO2削減に貢献することが期待されるという。