国内ニュース

 東北大など、「振動」を活かしたセンサノード実現の中核技術を紹介

  東北大学は、同大学発ベンチャー会社であり（連携ビジネスインキュベータであり）、産業用IoTデバイスの研究開発を行っている仙台スマートマシーンズ(株)と共に、「振動」を電気に変換し、センサとしても活用できる自立型・ハイブリッド型の新規デバイスを開発した。同大学は、さまざまな省庁・機関の支援のもと、身近にある振動などを電気エネルギーに変換するエナジー・ハーベスタ（環境発電）と呼ばれるデバイスや、振動センサの小型・軽量化、高性能化に取り組んでいる。今回、AlN（窒化アルミニウム）をベースとした圧電薄膜を用いて、振動を変換するマイクロ発電デバイス（容積：1 cc）を作製し、振動の尺度のひとつである加速度が1G（9.807 m/s2）で約 10 mW以上、低加速度（0.01G）でも1 mWの発電出力が得られることを確認した。また、当該デバイスと同じ構造を持つ超低周波振動センサを開発し、振動周期1 Hz以下の帯域を検出できることを実証した。強度や耐久性も確認できており、自動車・鉄道などへの搭載、社会インフラの維持管理における活用が期待できることから、提案活動や特許申請を積極的に進めているという。