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パナソニック環境エンジニアリング（株）、高価な生産プロセス薬液のリサイクル技術を確立
発表日：2011.11.09
パナソニック環境エンジニアリング（株）は、電子デバイス工場の生産プロセス（洗浄・剥離工程など）で大量に使用する高価な薬液のリサイクル技術を確立したと発表した。これらの薬液は、使用後、原液に加えて重金属や樹脂、水分など様々な不純物が混じっているため、従来、その廃液は産業廃棄物として廃却されるか、多大な費用をかけて薬液成分のみを生物処理などで除去処理するか、もしくは専用の処理場で再生されていた。同社では、使用済みの同薬液に含まれる2成分を、沸点の違いを利用して分離精製回収する技術を従来から確立しており、今回、1）さらに高度な蒸留分離技術（3～4成分を分離可能）、2）新たな調合供給技術（新液と同等の成分比率に調合可能）、を開発し組み合わせることで、薬液リサイクル技術として確立した。これにより、工場内で効率的に生産プロセス薬液の再利用が可能となり、30%以上の工場ランニングコスト削減、70%以上の環境負荷低減に貢献するという。
