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（株）日立製作所、シリコン・トランジスタ型水素センサの長寿命・高感度化技術を開発
発表日：2008.06.19
（株）日立製作所は、シリコン・トランジスタ型水素センサの長寿命・高感度技術を開発した。この技術は、発電の際に二酸化炭素を排出しないエネルギーとして注目されている水素を、安全に利用するためのキーデバイスになると期待される。今回開発された水素センサは、センサ部分（ゲート）に、白金（Pt）とチタン（Ti）の薄膜積層構造を採用しており、濃度1000ppm以上の水素を約1秒で検知可能なほか、熱や湿度にも強いという特長がある。また、試作した水素センサを用いた寿命加速試験の結果、3年以上使用できる見通しも得られている。さらに、シリコン（Si）をベースとするトランジスタ（Si-MOSFET）の特性を利用していることから、現在普及している半導体製造装置で製造できるなど、量産性にも優れている。なお、本技術は、（独）新エネルギー・産業技術開発機構（NEDO）の委託を受けて研究開発した成果である。
