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東京エレクトロン（株）と田中貴金属工業（株）、次世代配線技術向けルテニウム材料のリサイクルプロセスを共同開発
発表日：2010.11.24
東京エレクトロン（株）と田中貴金属工業（株）は、次世代半導体微細化技術に用いられるルテニウムCVD用材料（ルテニウムプリカーサ）のリサイクルプロセスを共同開発したと発表した。同プロセスにより、従来、有価物として回収されずに廃棄されていたルテニウムプリカーサを、ルテニウム金属に戻すことなく捕集・再精製し、再利用することができる。これにより、コストを約20%、CO2排出量を約30％低減することが期待できるという。ルテニウム（Ru）は白金原石中に10～20%含まれている貴金属で、微細配線に「銅めっき」を埋め込む際に、めっきの下地となる薄膜として用いられる。なお、今回の共同開発では、東京エレクトロンが、ルテニウムCVD装置でウェーハに堆積しなかった装置内の残留物を回収する機構を開発した。一方、田中貴金属工業は、回収された残留物を再精製し、再利用するプロセスを開発した。
